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场发射扫描电镜

2017.11.25

生产厂家:TESCAN(泰斯肯)

   号:MAIA 3 2016

   介:

场发射扫描电镜具有超高分辨率,能完成各种固态样品微观形貌的观察及图像处理。该仪器利用二次电子成像原理,低电压下通过在纳米尺度上观察样品,获得忠实原貌的立体感极强的样品表面超微形貌结构信息。同时与EDS结合,完成样品表面元素的定性测试,具有形貌、化学组分综合分析能力。

技术参数:

高真空模式下二次电子分辨率:15KV 优于0.7nm;1KV 优于1.0nm;扫描透射(STEM)模式分辨率:0.7nm;

具有两个二次电子散射器、两个背散射探测器和一共公用探测器;

样品室真空度 优于5×10-4 Pa,电子枪真空度 优于 3×10-7Pa

    满足机械泵、分子泵、离子泵的三级真空系统;

配置牛津AZtec+X-MAX50能谱仪,可实现元素分析。

应用领域:

广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制和文物鉴定等。